三枝夕夏写真三枝夕夏写真,森川安娜年龄森川安娜年龄,山本千寻血型山本千寻血型

SSTH系列中频磁控溅射电源技术规格

SSTH系列中频磁控溅射电源工作于二级高频变换模式，交流40kHz输出。中频溅射电源以两个溅射靶作为负载，双靶交替工作，因此工作周期内每个溅射靶有一半以上的时间为反向电压，使靶材表面积累电荷充分泄放，有利于抑制靶材弧光放电及表面中毒。SSTH系列中频磁控溅射电源具备独特的电弧抑制功能，有效克服电弧对膜层造成的瑕疵，预警系统实时显示电源工作状态，以便及时排除潜在问题。电源特别适用于大功率反应溅射膜层，如Low-E玻璃生产线及金属非金属卷绕镀膜使用

电源功率范围

30-120kW

输入电源

三枝夕夏写真三枝夕夏写真,森川安娜年龄森川安娜年龄,山本千寻血型山本千寻血型 AC380V±10％三相四线制 50-60HZ

输出方式

准正弦波

输出频率

40kHZ

输出电压

空载1200V[有效值]

输出特性

恒流/恒压/恒功率

灭弧时间

≤3μs

输出稳定率

0.5％

负载持续率

100%

冷却方式

水冷

使用环境

环境温度 0-40℃
环境湿度 相对湿度≤85％
空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好

冷却水

清洁 不含矿物质及其他可溶性物质
水温 20-40℃
压力 0.15±0.05MPa

通讯方式

模拟/RS485/RS232

说明：电源的输出数据可根据使用需要作相应调整